Praxiswissen Mikrosystemtechnik

Praxiswissen Mikrosystemtechnik

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Die Mikrosystemtechnik gilt als eine der SchlA¼sseltechnologien des 21. Jahrhunderts. Dieses Fachbuch trAcgt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen Rechnung und gibt dem Leser einen anschaulichen Einstieg in die faszinierende Welt dieser Technik. Hochaktuelle Anwendungen aus der Praxis von komplexen Mikrosystemen zeigen, wie sich miniaturisierte Funktionselemente auf kleinstem Raum integrieren lassen. Das umfangreiche Literaturverzeichnis ist dabei eine wertvolle Hilfe. Dem Fachmann aber auch Studierenden dient das Buch als Nachschlagewerk fA¼r zahlreiche technologische Fragestellungen. Diese vollstAcndig A¼berarbeitete und erweiterte Auflage enthAclt neue Unterkapitel zu Lab-on-a-Chip-Mikrosystemen, neuen Substratmaterialien und zur Laser-Mikrostrukturierung.Technical Report, Rice University, 2001. http://www-ece.rie.edu/\~\/aca/mtns00. pdf} http://www.ansys. ... Prentice Hall, Englewood Cliffs 1989 Atherton, D.P.; Borne, P.: Concise Encyclopedia of Modelling and Simulation. Pergamon Press, Oxford 1992. ... Tutorial, 8. GMM-Workshop a€œMethoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen. Berlin, Dezember 1999 Chen, J.; Kang, S.M.; Zou, J.; anbsp;...


Title:Praxiswissen Mikrosystemtechnik
Author: Friedemann Völklein, Thomas Zetterer
Publisher:Springer-Verlag - 2008-10-08
ISBN-13:

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